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纳米深度3D形状显微检测仪

简要描述:纳米深度3D形状显微检测仪3D圆形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力,且不需要使用电子束或镭射,关机快又安全,维护成本更低。

  • 产品型号:AE-100M-NS10
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-12-12
  • 访  问  量:852

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产

纳米深度3D形状显微检测仪

纳米深度3D形状显微检测仪不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、

普通大气环境下完成3D纳米深度的表面检测分析,不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析,

更可提供镜面表面的纳米级粗糙度和台阶高度分析。

纳米深度3D形状显微检测仪具有的测量能力,可在几秒内就完成整个视场的扫描,得到

测量样品的3D圆形与高度数据,检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜,

3D圆形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力,且不需要使用电子束或镭射,关机快又安全,维护成本更低。

无论是 抛光面,还是粗糙面,甚至是高透明材质(例如石英),只要有超过1%以上的反射率

就能够被检测。适合各种材料与微元件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含:

1、触控面板(Touch Panel)

2、太阳能板(Solar Cell)

3、晶圆(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)

4、光碟/硬碟(DVD Disk/Hard Disk)

5、微机电元件(MEMS Components)

6、平面液晶显示器(LCD)

7、高密度线路印刷电路板(HDI PCB)

8、IC封装(IC Package)

9、精密微机械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)

10、以及其它材料分析与元件微表面研究。

纳米深度3D形状显微检测仪

AE-100M-NS10
移动台(mm)
平台尺寸150*150,行程80*60
镜筒放大倍率
1.0
物镜放大倍率
10X
20X
50X
观察与量测范围(mm)
0.43*0.32
0.21*0.16
0.088*0.066
光学解析度(μm)
1.15
0.86
0.62
收光角度(Degrees)
17
23
33
工作距离(mm)
7.4
4.7
3.4
感测器解析度
640*480像素
Z轴移动范围
45mm ,手动细调
Z轴位置数位显示器
解析度0.5μm
机台重量
50kg
载重
1kg
倾斜调整平台
双轴/手动调整
高度测量
测量范围
100μm(400μm,选配)
量测解析度
0.1nm
重复精度(σ)

≤0.1%(量测高度:>10μm)

≤10nm(量测高度:1μm~10μm)

≤5nm(量测高度:<1μm)

 

量测控制
自动
光源
光源类型
白光LED灯箱
平均使用寿命
30000小时
资料处理与显示用电脑
中央处理运算单元
双核心以上CPU
影像与资料显示屏幕
17〞液晶荧幕
作业系统
Windows7
电源与环境要求
电源
AC110V/220V,50Hz/60Hz
环境振动
VC-C等级以上
量测与分析软体
量测软体/分析软体

ProfileViewer软体:

具VSI/PSI量测模式、ISO粗糙度/阶高分析、

多样的2D和3D观测视角图、图像缩放、标准影像档案格式转换、报表输出等。

1、使用20X物镜量测阶高标准重复30次的结果


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